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彈簧加載的測試探針通常由三部分組成。這些組件必須以微電子領(lǐng)域所需的精度制造。
1.針部分
針頭主要用于連接,可與各種類型的針頭配合使用。并盡可能在測試探針與測試點(diǎn)之間產(chǎn)生較小的接觸電阻,以保證測試結(jié)果的真實(shí)性。針的材料主要是鋼和鈹銅,它們分別經(jīng)過硬化處理,如果是很鈍的針形,也可以使用黃銅。
2.彈簧部分
彈簧是一種有效的部件,即使經(jīng)過數(shù)十萬圈(測試循環(huán)),也能確保必要的接觸力。目錄中規(guī)定的額定彈簧力可在推薦的操作行程下達(dá)到,但會因結(jié)構(gòu)、制造公差和操作條件等因素而略有波動。
3.針罩部分
針蓋支撐針和彈簧。測量信號被傳輸?shù)教筋^套筒。為了優(yōu)化性能,除了套筒鍍金外,還可以應(yīng)用更薄的有機(jī)保護(hù)層。探針針蓋用于在維護(hù)測試夾具時(shí)方便更換測試探針。更換快速,無需接線工作。為此,側(cè)面有壓接位置。在此期間,需要注意的是,壓接點(diǎn)只有在套管插入鉆孔后才能發(fā)揮其最佳功能。也就是說,必須在針套插入探針板后才能插入探針。
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